Плёнкалуу интегралдык схёма
Плёнкалуу интегралдык схёма – бирдик элементтери жана элементтер аралык бирикмелери диэлектрдик бетке (көбүнчө карапа) жабылган плёнка түрүндө аткарылган интегралдык схема. Даярдоо технологиясына жана плён- канын калыңдыгына жараша жука плёнкалуу (калындыгы 1 мкмр&н аз) жана калың плёнкалуу (калындыгы адатта 1-25 мкм) микросхемалар болуп бөлүнөт. Жука Плёнкалуу интегралдык схёма металл трафарет аркылуу плёнканы вакуумдук чачыратуу (чөгөрүү) же андан ары фотолитографикалык иштетүү менен айкалыштырып чачыратуу, калың Плёнкалуу интегралдык схёма көбүнчө электр өткөрүүчү, резистүү жана диэлектрдик паста жабылган бетти андан ары күйгүзүү менен алынат. Плёнкалуу интегралдык схёма пассивдүү элементтерден гана турат.
Колдонулган адабияттар
[түзөтүү | булагын түзөтүү]- “Кыргызстан” улуттук энциклопедиясы: 6-том. Башкы редактору Асанов Ү. А. К 97. Б.: Мамлекеттик тил жана энциклопедия борбору, 2014. 816 бет, илл. ISBN 978 9967-14-117 -9