Электрондук микроскопия

Wikipedia дан
Jump to navigation Jump to search

Электрондук микроскопия – нерселердин микроструктурасын электрондук микроскоптун (ЭМ) жардамы менен изилдөөчү ыкмалардын жыйындысы.

Электрондук микроскопияны изилдөө объектиси – көбүнчө өтө жука плёнка же фольга ж. б. түрдөгү катуу нерселер, айрым бир учурларда изилденүүчү зат башка затка жабыштырылган кристалл күкүмү, аэрозолдун бөлүкчөлөрү ж. б. болот. Суюктуктар, газ абалындагы заттар, о. эле биологиялык препараттар атайын газы бар микрокамеранын жардамы менен изилденет. Электрондук микроскопиянын жардамы менен ар кандай кыймылдуу процесстерди (плёнкалардын өсүшүн, кристаллдардын деформациясын, электрон менен ион нурданткан структуралардын өзгөрүшүн) изилдөөгө мүмкүн болот. Аморфтуу жана квазиаморфтуу заттардын бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү Электрондук микроскопияга уруксат кылынган аралыктан кичине болсо, анда электрондор ал беттен диффузиялуу чачырайт. Аларды циклдөө үчүн Электрондук микроскопияда фазалык, Интерференциялык, лоренцтик, сандык Электрондук микроскопия ыкмалары иштелип чыккан. Электрондук микроскопия көбүнчө технологиялык максаттарда (электрондук литография жолу менен микросхемаларды даярдоо ж. б.) пайдаланылат.

Колдонулган адабияттар[оңдоо | булагын оңдоо]